真空全壓力測量新技術

【摘要】：真空測量是真空科學與技術的重要組成部分，在航空航天、半導體、核工業、加速器、新材料等領域具有重要應用價值。經過幾個世紀的發展，從宏觀力學效應到量子效應，真空測量原理不斷創新發展。從大氣壓到極高真空范圍，不同真空測量儀器分別覆蓋了不同量程段的測量要求。較完整地梳理了真空測量原理的發展歷程，并依據近年來高端真空裝備快速發展對真空測量的新需求，厘清了真空測量儀器逐步向高精度、微型化和智能化發展的趨勢，綜述了近十余年來真空測量技術與儀器的發展現狀，展望了真空測量新技術的未來發展前景。